产品说明
本仪器是把UV-Vis光照在测量对象上，利用从测量对象中反射出来的光线测量膜的厚度的产品。
这种产品主要用于研究开发或生产导电体薄膜现场，特别在半导体及有关Display工作中作为
In-Line monitoring 仪器使用。
产品特性
1) 因为是利用光的方式，所以是非接触式，非破坏式，不会影响实验样品。
2) 可获得薄膜的厚度和 n,k 数据。
3) 测量迅速正确，且不必为测量而破坏或加工实验样品。
4) 可测量 3层以内的多层膜。
5) 根据用途可自由选择手动型或自动型。
6) 产品款式多样，而且也可以根据顾客的要求设计产品。
7)可测量 Wafer/LCD 上的膜厚度 (Stage size 3“ )
8)Table Top型, 适用于大学,研究室等
产品型号/规格
The advantage of infinity - corrected optics Optics solve the problem of coma aberration by using a new tube lens
Stage Size
150 x 120mm(70 x 50mm Travel Distance)
Measurement Range
200Å~ 35μ m(Depends on Film Type)
Spot size
20μm Typically
Measurement Speed
1 sec/site Typically
Application Areas
Polymers : PVA, PET, PP, PR ...
Dielectrics : SiO2, TiO2, ITO, ZrO2, Si3N4 ..
Semiconductors : Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS...
*Supporting up to 3 Layers
*Supporting Backside Reflection
Head
Trinocular Head
Nosepiece
Quadruple Revolving Mechanism with Inward Tilt
Total Magnification
40X ~ 500X
Type of Illuminati
12v 20W Halogen Lamp Built-in Control Device & Transform
本仪器是把UV-Vis光照在测量对象上，利用从测量对象中反射出来的光线测量膜的厚度的产品。
这种产品主要用于研究开发或生产导电体薄膜现场，特别在半导体及有关Display工作中作为
In-Line monitoring 仪器使用。
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