特点
＊测量范围宽：1×103 ～1.6×1016Ω
＊测试夹具稳定：比电阻盒，元件测试夹具
＊测量速度高：10ms
＊按测试顺序编程
＊计算电阻率
＊被测器件可接地测量
规格
测量参数：R（直流电阻），I（直流电流），ps（表面电阻率），pv（体电阻率）
数学功能：偏差和百分偏差
显示数字：3，4或5位（可选择）
测试电压：0.1 ～ 1000Vdc
0.1 ～ 200Vdc时，以0.1V步进
0.1 ～ 1000Vdc时，以1V步进
电压精度：≤200V时为0.16％+100mV
＞200V时为0.16％+500mV
最大电流：≤100V时为10mA；≤250V时为5mA
≤500V时为2mA；≤1000V时为1mA
电流相容性调定：0.5mA,1mA,2mA,5mA,10mA
输出电阻：1KΩ±10％
输入电阻：1KΩ±10％
测试电缆长度：2 m （最大值）
测量范围和精度：
直流电流：60fA～100uA 基本精度：±0.4％
直流电阻：1×103 ～1.6×1016Ω 基本精度：±0.6％
测量时间：短：10ms；中：30ms；长：390ms
修正功能：
开路误差为0：消除由测试夹具中杂散寄生电阻引起的测量误差
测试序列程序：控制一系列电阻测量。充电时间、测量间隔时间和测量次数可以编程。
比较功能：对测量参数设立高/符合/低界限
接触检查功能：
1、 可以检测测试夹具与器件之间的接触故障
2、 可提供的被测器件（DUT）类型
其它功能：
1、 存储/调用：可以由内部非易失存储对10种仪器设置进进存储/调用
2、 连续存储功能：若仪器被切断或发生电源故障，仪器设置将自动被存储起来
3、 GPIB接口：所有控制设置，被测值和比较器信息
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